[发明专利]一种机械手传片托盘装置在审
| 申请号： | 202011081324.4 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112086391A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 谷伟;黄寓洋 | 申请（专利权）人： | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种机械手传片托盘装置，包括主体支架，所述主体支架具有相互背对的第一面和第二面，其中第一面用于与压板配合，第二面设有用于容置工艺片的定位槽，并且所述主体支架上还开设有与定位槽连通的第二通孔，所述定位槽的直径稍大于或等于工艺片的直径，所述第二通孔的直径稍小于工艺片的直径，所述压板上设有第一通孔，所述第一通孔的直径大于工艺片的直径，当使所述压板与主体支架配合工作时，所述工艺片能够从相互连通的第一通孔及第二通孔中露出。本发明提供的机械手传片托盘装置，可以使工艺片在传片过程中，即放置于工艺台面上时可以不发生移动，并且缩小工艺片边缘因压板造成无法使用的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 托盘 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
