[发明专利]一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法在审
| 申请号： | 202011081416.2 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112323047A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张云鹏;王玉;赵科巍;郭鹏;杨飞飞;秦鹏 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池生产领域。一种判断管式PECVD炉管内漏和外漏的方法，本发明通过关闭部分阀门对PECVD炉管1进行保压测试，判断PECVD炉管是否存在泄漏，以及在存在泄漏时，存在内部泄漏还是外部泄漏，以及具体在哪个位置存在泄漏。本发明可以简单准确的判断管式PECVD炉管真空失败的内漏方法，缩短了异常处理的时间，确保了车间的正常生产，提高了备品备件的使用寿命，节约了车间的备件成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判断 pecvd 炉管 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
