[发明专利]一种人造水晶片腐蚀挥发液处理装置在审
| 申请号： | 202011081640.1 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112156631A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 朱中晓;袁许江 | 申请（专利权）人： | 北京石晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/78;B01D53/96 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 贾双明;寿宁 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种人造水晶片腐蚀挥发液处理装置，包括用于吸收HF废气并对吸收废气后的液体进行预中和的1#槽、用于收集氢氟酸废液以及1#槽中预中和后注入的液体并再次进行预中和的2#槽、用于收集2#槽以及4#槽中液体并对其进行中和处理以及去氟处理的3#槽、用于吸收HF废气以及来自3#槽中的废气并进行预中和的4#槽。有益之处在于：1、经过充分混合、检测，能将废水、废气充分反应，排放后不会造成环境污染；2、处理装置完全封闭，不会造成泄露，保障人身安全；3、自动化程度高，节省了人工成本，降低了劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 人造 水晶 腐蚀 挥发 处理 装置 | ||
【主权项】：
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