[发明专利]太阳能电池的制备方法及太阳能电池在审

专利信息
申请号: 202011085099.1 申请日: 2020-10-12
公开(公告)号: CN114420767A 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 陈海燕;邓伟伟;蒋方丹 申请(专利权)人: 嘉兴阿特斯技术研究院有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/042;H01L31/18
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 段友强
地址: 314000 浙江省嘉兴市秀*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请提供了一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池,所述制备方法包括对硅基底进行表面处理后,进行正面扩散;再于硅基底的背面依次制备隧穿层与非晶硅层;然后进行去绕镀,清洗去除绕镀的非晶硅,并保留所述硅基底正面的BSG层;高温退火后进行表面清洗,去除BSG层,再依次进行镀膜与金属化,得到相应的太阳能电池。上述制备方法在高温退火前进行去绕镀清洗,所述非晶硅层未经高温处理,绕镀的非晶硅较容易去除;并且,将BSG层保留至高温退火之后再进行清洗,有效避免扩散层受损,减少产线异常。
搜索关键词: 太阳能电池 制备 方法
【主权项】:
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