[发明专利]一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备在审
| 申请号： | 202011085374.X | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112267094A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姜建峰 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/06;B01D46/00;B01D46/24 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备，主要包括外框、电热器、真空机、过滤器和基板架，所述外框顶端中部固定安装有顶壳，顶壳内侧固定安装有电热器，电热器底端装配安装有原料盒，所述外框左侧转动安装有密封门。本发明涉及一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺及其设备，通过内设的灵活基板架，配合紧凑的驱动机械结构，导电结构位于内部，避免外部元素的腐蚀，适应稳定好，镀膜均匀性好，自身寿命有保证，过滤器在抽真空时周期，可以保证滤芯外表面的清洁，避免堵塞，且不需要单独外接驱动设备，对真空设备的做功进行充分利用，更加节能，产生的薄膜真身的屏蔽能力好，自身保护完善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 屏蔽 效能 ito 制造 工艺 及其 设备 | ||
【主权项】：
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