[发明专利]GaN基板以及显示芯片的制造方法在审
| 申请号： | 202011089658.6 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112133805A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 岳大川;朱涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市奥视微科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/32;H01L33/00;H01L25/16 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 田媛 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种GaN基板以及显示芯片的制造方法，其中GaN基板包括衬底和位于衬底上方的GaN外延层，GaN外延层上设有由多个彼此独立的环状隔离部构成的翘曲消减结构；其中，各个环状隔离部相对于所述GaN外延层的上表面向下凹陷，每一个所述环状隔离部的内侧界定一个与待制造的显示芯片尺寸相适应的独立单元。本案通过在GaN外延层形成彼此多个彼此独立的环状隔离部构成的翘曲消减结构，从而达到有效释放薄膜应力，改善基板翘曲度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | gan 以及 显示 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
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