[发明专利]一种超薄聚合物的表面处理方法有效
| 申请号： | 202011090039.9 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112210760B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;陈琳;王国梁;罗军;庞盼 | 申请（专利权）人： | 廖斌;广东省广新离子束科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/20 |
| 代理公司： | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人： | 胡小英;张凯 |
| 地址： | 510663 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄聚合物的表面处理方法，在真空室内进行，包括将聚合物薄膜固定在放卷轴上，在导向辊的作用下聚合物薄膜运动到冷辊处进行离子束表面处理，表面处理完后在导向辊的作用下继续运动到收卷轴上；所述聚合物薄膜厚度低于5微米；所述离子束表面处理的装置包括离子源系统、电弧系统以及磁控系统，表面处理时聚合物薄膜的温度不高于50℃，处理顺序依次为气体离子源，电弧和磁控溅射。本发明工艺可在任何超薄聚合物表面处理上推广，特别是不耐温的超薄聚合物的表面覆金属膜层，其设备使用寿命高，成本低，能实现大规模的卷对卷生产。而且能同时兼顾聚合物表面电阻率、表面粗糙度、吸水度和抗拉伸性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 聚合物 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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