[发明专利]载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202011091475.8 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112666797A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 高桥彰宏;远藤淳生;高坂敦之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法。提供对基板保持部的平面度的精度和调整速度的并存有利的载置台装置。保持基板而移动的载置台装置具有：基座；基板保持部，在比所述基座更靠上的位置保持所述基板；多个调整部，设置于所述基座与所述基板保持部之间，为了调整所述基板保持部的基板保持面的形状，针对所述基板保持面的多个部位中的每个部位独立地从下方施加力；以及多个紧固部，与所述多个调整部中的每个调整部对应地设置，使用紧固部件以夹入所述调整部的形态紧固所述基座和所述基板保持部。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 装置 及其 调整 方法 曝光 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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