[发明专利]一种无篮晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 202011092397.3 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112371611B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李刚;童建;钱诚 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种无篮晶圆清洗装置，由于晶圆直接被置入晶圆支撑架上，由晶圆支撑架直接支撑固定晶圆，省去了晶圆盒，因此，第一喷管上喷嘴能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上，水流被晶圆切开并流到晶圆的前后表面从而直接对晶圆进行清洗，保证了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无篮晶圆 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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