[发明专利]一种自动开门无尘烤箱在审
| 申请号： | 202011092492.3 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112103180A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 胡远岗;罗佐军 | 申请（专利权）人： | 常州常耀电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/324 | 分类号： | H01L21/324 |
| 代理公司： | 杭州昱呈专利代理事务所(普通合伙) 33303 | 代理人： | 雷仕荣 |
| 地址： | 213034 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自动开门无尘烤箱，包括箱体、安装在箱体上的气动门组件、设置在箱体内的承载组件、设置在箱体上的气动门组件以及安装在箱体顶部的除尘组件，气动门组件包括设置在箱体侧壁上的门板，承载组件包括对应门板设置的承载架，加热组件包括安装在箱体侧壁上的换热排管，换热排管沿承载架的高度方向均匀铺设，除尘组件包括固定安装在箱体顶壁上的吸尘罩以及固定安装在箱体顶壁上的吸尘风机，吸尘罩罩设承载架设置，吸尘风机的转轴伸入吸尘罩中，晶圆片靠近箱体时，门板沿箱体打开，晶圆片可穿插至承载架上，在热处理晶圆片时，箱体上门板打开，晶圆片可直接存放至承载架中，可避免在热处理时对晶圆片的集中搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 开门 烤箱 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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