[发明专利]一种薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202011097293.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112242826A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 窦韶旭;吴珂;韩琦;吕丽英;吴一雷;杨帅;王超 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括：基底；声反射结构，声反射结构从基底上表面向下嵌入基底中或设置于基底上方；压电振动组件，压电振动组件设于声反射结构上方，压电振动组件包括压电功能膜、以及设置在压电功能膜两相对表面上的第一电极、第二电极；质量负载环，质量负载环具有一通孔空腔，质量负载环设于压电振动组件的上方或下方；隔离层，隔离层设于质量负载环与压电振动组件之间；声反射结构、第一电极、压电功能膜与第二电极的投影重叠区域界定一有效区域；质量负载环沿有效区域的边缘区域设置，质量负载环的内边沿小于有效区域的外边沿，其外边沿大于、等于或者小于有效区域的外边沿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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