[发明专利]一种半导体工业废水处理技术及回收利用工艺在审
| 申请号： | 202011099120.3 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112174382A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 陈丽 | 申请（专利权）人： | 上海三邦水处理技术有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F103/34;C02F101/20;C02F101/14 |
| 代理公司： | 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 | 代理人： | 刘英 |
| 地址： | 201900 上海市宝山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体工业废水处理技术及回收利用工艺，其工艺步骤如下：该半导体废水主要分三大类：包括含铜，镍，锡重金属废、含氟离子废水，其处理工艺流程如下：首先将切割研磨硅片产生的废水和纯水系统反洗及RO浓水，分流单独处理，重金金属废水和含氟离子废水集中单独处理后再集中处理，合格达到半导体废水排放标准再排放；研磨切割废水单独处理后合格部分回收利用。有效的解决了现有技术中的缺陷，大大提高了该工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工业 废水处理 技术 回收 利用 工艺 | ||
【主权项】：
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