[发明专利]一种半导体晶片磨边装置在审
申请号: | 202011100814.4 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN112223001A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 许同 | 申请(专利权)人: | 许同 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B41/06;B24B41/00 |
代理公司: | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人: | 朱陈晨 |
地址: | 238300 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体晶片磨边装置,涉及半导体晶片加工技术领域,包括固定机构、旋转机构、压合机构、限位架、推进机构、移动机构和打磨机构,所述旋转机构设置在固定机构内的底端,所述压合机构设置在固定机构内的顶端,所述旋转机构和压合机构上下对应,所述限位架设置在旋转机构以及压合机构上,所述推进机构设置在旋转机构的一侧,所述移动机构设置在推进机构上,所述打磨机构设置在移动机构上,所述打磨机构的工作端与旋转机构的工作端对应,解决现有技术中的设备对半导体晶片进行磨边时无法进行一个很好的固定,固定过紧会对半导体晶片造成损伤,固定过松无法起到限制移动的作用,导致半导体晶片无法正常进行磨边作业的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 晶片 磨边 装置 | ||
【主权项】:
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