[发明专利]自调节弹性节能抛光装置有效
申请号: | 202011101511.4 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN112192436B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 叶卉;李晓峰;师晓开 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/00;B24B57/02 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 王晶;徐俊 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种自调节弹性节能抛光装置,抛光盘组件置于抛光液回收装置的抛光液收集罩中,抛光盘组件上部一侧设有抛光头组件,另一侧设有滴液喷头组件;抛光头组件包括丝杠驱动机构、弹性抛光机构以及电推杆夹具,丝杠驱动机构安装在升降盖和抛光头外壳之间,并通过升降盖带动内滑块上下移动,弹性抛光机构中的内滑块置于抛光头外壳内,并与抛光头外壳导向滑动连接,内滑块上端与抛光头外壳之间通过主弹簧连接,内滑块下端与抛光头外壳下部的底部螺旋盖之间通过支撑弹簧连接,内滑块上端与升降盖之间通过穿过抛光头外壳顶部的拉伸弹簧相连接;内滑块中下部分内设有均布的电推杆夹具,电推杆夹具中的电推杆通过卡爪装夹用于粘黏抛光工件的载片盘。 | ||
搜索关键词: | 调节 弹性 节能 抛光 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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