[发明专利]异物检查装置和异物检查方法在审
| 申请号： | 202011104108.7 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112666175A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 饭野正义;中野裕已;矢泽康弘;前田浩平;中岛大辅 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了异物检查装置和异物检查方法。一种装置检查具有检查区域和布置在检查区域外侧的非检查区域的物体上的异物的存在/不存在。该装置包括：传感器，用于照明物体并输出通过检测来自包括检查区域的区域的光而获取的结果作为图像；以及处理器，用于基于通过从传感器输出的图像中排除作为非检查区域的图像的非检查区域图像而获取的检查区域图像来检测异物。非检查区域图像包括通过来自被检查物体的非检查区域的预定部分的光而生成的第一部分和其像素值从第一部分的像素值起连续的第二部分，并且处理器基于第二部分的像素值从第一部分的像素值起连续的事实来指定第二部分。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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