[发明专利]一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法在审
| 申请号： | 202011104884.7 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112410747A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王贝;张超群;王程;葛治亮;井治;张康;陶飞 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郎祺 |
| 地址： | 200030 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法，该镀膜玻璃生产线包括通过门阀连接的进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、真空系统、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室，镀膜室由若干镀膜腔体组成，进片过渡室和镀膜室之间、出片缓冲室和镀膜室之间，镀膜室内两镀膜腔体之间通过双向服务阀连接。使用本发明提供的具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线，当单个镀膜腔体发生事故，或者单个镀膜腔体内靶材耗尽时，可以单独对该镀膜腔体所在的一段镀膜室进行破空，检修工作完毕后再对该段镀膜室抽真空，无需对整个真空系统整线破空，降低了维护工作的时间，以及维护完毕后恢复生产的时间，且不影响生产的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 段式 真空 系统 镀膜 玻璃 生产线 工作 方法 | ||
【主权项】：
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