[发明专利]一种磁编码器芯片有效
| 申请号： | 202011105122.9 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN114370888B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 祁彬;薛松生 | 申请（专利权）人： | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01B7/00;G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215634 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种磁编码器芯片，包括晶圆基板、3个或6个扇形磁阻群和多个引线焊盘，每个扇形磁阻群的扇形圆心角为60°，所有扇形磁阻群均匀分布在晶圆基板上且互不交叠；每个扇形磁阻群包括n行圆弧形磁阻段，圆弧形磁阻段的圆心与扇形圆心相同，每行圆弧形磁阻段包括m个磁阻单元，m和n均为自然数且m×n＝35；每行圆弧形磁阻段中相邻两个磁阻单元的几何中心与扇形圆心构成的圆心角为#imgabs0#各行圆弧形磁阻段以不同的角度错位排布，引线焊盘与扇形磁阻群位于晶圆基板的同一表面并通过连接引线与扇形磁阻群连接。该磁编码器芯片能够将由于磁阻单元本征谐波误差及器件排布谐波误差消除，有效提高位置或角度检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 编码器 芯片 | ||
【主权项】：
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