[发明专利]测试结构及其测试方法有效
| 申请号： | 202011106814.5 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111933619B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 周山;王丽雅;俞佩佩 | 申请（专利权）人： | 晶芯成（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测试结构及其测试方法。通过在钝化层的下方设置第一金属层，并在第一金属层中形成第一导电路径和第二导电路径，以及在第一金属层中还填充允许碱离子扩散的介质层，从而通过电性测试即可判断出第一导电路径和第二导电路径之间的介质层中是否扩散有碱离子，进而可推断出钝化层是否存在破裂。本发明提供的测试结构，能够灵敏的检测出钝化层的完整性，并且还可以通过对第一金属层的线路布局进行调整，以对钝化层的应力进行评估。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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