[发明专利]激光扫描装置在审
申请号: | 202011108763.X | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN112192021A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 刘国强;姜宝宁;康伟 | 申请(专利权)人: | 西安中科微精光子制造科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/082 | 分类号: | B23K26/082;B23K26/064;B23K26/382 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 魏毅宏 |
地址: | 710119 陕西省西安市高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种激光扫描装置,其包括光平移元件、振镜扫描模块和聚焦镜;光平移元件能够绕第一轴向旋转并用于将光束折射并平移,第一轴向为竖直方向;振镜扫描模块包括相对设置的第一偏转镜和第二偏转镜,第一偏转镜能够绕第二轴向旋转并将接收到的光束反射至第二偏转镜,第二偏转镜能够绕第三轴向旋转并将接收到的光束进行反射;聚焦镜用于将经光平移元件和振镜扫描模块折转后的光束聚焦。本发明通过该装置的应用能够实现在一定厚度工件上加工圆孔或倒锥孔;并且能够实现大深径比微孔的加工。 | ||
搜索关键词: | 激光 扫描 装置 | ||
【主权项】:
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