[发明专利]工件固持加热设备在审

专利信息
申请号: 202011109040.1 申请日: 2016-03-01
公开(公告)号: CN112234000A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 孙大伟;D·杰弗里·里斯查尔;史蒂芬·M·恩尔拉;岱尔·K·史东;留德米拉·史东 申请(专利权)人: 瓦里安半导体设备公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;臧建明
地址: 美国麻萨诸塞*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请揭露一种工件固持加热设备,其可用于在处理期间增进工件的温度均匀性。所述设备包含具有分开控制的边缘加热器的压板,边缘加热器能够独立地加热压板的外边缘。以此方式,可在压板的外边缘供应额外热量,从而帮助维持在全部压板上的恒定温度。此边缘加热器可安置于压板的外表面上,或在某些实施例中,可嵌入于压板中。在某些实施例中,将边缘加热器以及主要加热元件安置在两个不同平面中,其中边缘加热器比主要加热元件安置得更靠近压板的顶表面。
搜索关键词: 工件 加热 设备
【主权项】:
暂无信息
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