[发明专利]显示面板及其制作方法有效
| 申请号： | 202011109456.3 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112309847B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 胡小波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/28 | 分类号： | H01L21/28;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种显示面板及其制作方法。该显示面板的制作方法包括：在衬底上形成金属薄膜层；在该金属薄膜层上形成疏水层及光阻层；对该光阻层进行图案化处理，以形成光阻图案；将未被该光阻图案覆盖的该疏水层去除；对未被该疏水层覆盖的该金属薄膜层进行蚀刻处理，以形成第一电极层。本申请通过在金属薄膜层上设置疏水层，利用相似相溶原理，在图案化金属薄膜层过程中，增强了金属或合金与光阻层之间的粘附力，防止了光阻层意外脱落，提高了图案化金属薄膜层的良率，提高了显示面板的制作质量。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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