[发明专利]用于抛光铜膜的CMP浆料组合物和用其抛光铜膜的方法有效
| 申请号： | 202011111565.9 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112680109B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 金亨默;张根三;姜东宪;李锺元 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;C23F3/04;C23F3/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于铜膜的化学机械抛光浆料组合物和使用其来抛光铜膜的方法。化学机械抛光浆料组合物包含：自极性溶剂和非极性溶剂当中选出的至少一溶剂；以及硅烷改性的抛光颗粒，其中硅烷由式1表示。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 cmp 浆料 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星SDI株式会社，未经三星SDI株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011111565.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：安全气囊装置
- 下一篇：交通工具内部的照明组件及包括它的交通工具和内部面板
