[发明专利]一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺在审
申请号: | 202011116781.2 | 申请日: | 2020-10-19 |
公开(公告)号: | CN112289693A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 叶昌隆;谢交锋;陈雨杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市立可自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 宫建华 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种小孔重力式锡球阵列方法和工艺,包括以下步骤:在可以倾斜翻转控制的操作平台上设置锡球下球板,并在锡球下球板的上方设置可以左右移动以及上下移动的取球上球板,在取球上球板中以及锡球下球板中加工阵列式杯状微型小孔,且取球上球板的杯状微型小孔与锡球下球板的杯状微型小孔相对应、在锡球下球板的底部以及取球上球板的顶部均安装真空腔支撑板,使真空腔支撑板中的真空腔与锡球下球板以及取球上球板中的杯状微型小孔相通。本发明通过控制锡球仓将锡球在重力及负压的作用下使锡球下落到下球板上,再控制其复位及关闭其下球板负压,将多余的锡球在重力与刮刀双重作用下带走,并控制取球上球板将锡球转移植球,提高了全自动生产BGA封装的产能,增加了锡球的植入精度及植球效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 小孔 重力 式锡球 阵列 方法 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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