[发明专利]一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法有效
| 申请号： | 202011120297.7 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112509805B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 徐秀兰;于广华;冯春 | 申请（专利权）人： | 山东麦格智芯机电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01F41/18 | 分类号： | H01F41/18;H01F41/22 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 255400 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法，属于信息存储及电感技术领域。本发明技术方案通过将沉积完毕后的样品在真空环境下，进行适当温度的热处理，诱发其界面结构的改变。通过界面处的Co‑O轨道杂化强弱来调节铁磁/非磁(Co基软磁材料/MO)界面处的轨道结构，得到有益的、适度的Co‑O轨道杂化状态，进而调控铁磁薄膜材料磁性能，具有工艺简单、控制方便、效率高、成本低等优点，适合应用于未来信息存储和电感技术中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 优化 磁性 薄膜 电感 材料 方法 | ||
【主权项】：
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