[发明专利]一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置在审

专利信息
申请号: 202011122019.5 申请日: 2020-10-20
公开(公告)号: CN112229337A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 朱永迁;张冲;侯建伟;朱猛;权立振;崔国栋 申请(专利权)人: 蚌埠中光电科技有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 代理人: 陈俊
地址: 233000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置,包括设于玻璃传输辊上方的安装支架,安装支架垂直于玻璃板传输方向,沿安装支架间隔设有一组激光测厚仪,激光测厚仪的探头竖直向下设置;所述测量装置还包括相互通讯连接的激光测厚控制单元与上位机,各个激光测厚仪分别与激光测厚控制单元相连;玻璃板在玻璃传输辊传输时,激光测厚仪实时对玻璃板的厚度进行检测,并将检测结果反馈给上位机;该装置能够在线测量玻璃板在面研磨前和面研磨后的玻璃厚度,不影响玻璃表面质量,提高检测效率。
搜索关键词: 一种 用于 世代 玻璃 在线 无损 厚度 测量 装置
【主权项】:
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