[发明专利]一种高浪涌电流型SiC二极管及其制造方法在审
申请号: | 202011123353.2 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN112186029A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 张振中;郝建勇;孙军 | 申请(专利权)人: | 杭州中瑞宏芯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/16 | 分类号: | H01L29/16;H01L29/06;H01L29/861;H01L21/329 |
代理公司: | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人: | 郑双根 |
地址: | 311121 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明公开了一种高浪涌电流型SiC二极管,包括SiC衬底(1),SiC衬底(1)表面设有深P‑grid层(2),深P‑grid层(2)外部设有浅P+grid层(3)。本发明通过在SiC衬底表面形成的浅P+grid层,能够替代现有SiC二极管中的Ni‑Ohmic层起到提高正向浪涌电流的效果;同时通过LP‑SiO |
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搜索关键词: | 一种 浪涌 电流 sic 二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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