[发明专利]一种利用绝缘边保护层来制备N型电池的方法有效
申请号: | 202011123637.1 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN112151641B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 刘阳;吴家宏;张凯胜;孙铁囤;姚伟忠;胡琴;尹伟平 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/068 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王志慧 |
地址: | 213213 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用绝缘边保护层来制备N型电池的方法。具体的步骤包括以下:(1)选择N型的单晶硅片,经过清洗制绒、硼扩散、去BSG;(2)利用滚筒传输装置,将介电层膜均匀的涂抹在硅片的边缘;(3)利用扩散进行磷扩散前或LPCVD沉积多晶硅前,利用高温将介电层与硅片进行微烧结;(4)脱胶,利用HF将绝缘的介电层及沉积在介电层上的磷一起进行剥离;(5)RCA去PSG层或多晶硅层绕镀后、正面进行AlOx、SiNx钝化,背面进行SiNX钝化(6)正面印刷银浆后进行烧结。该方法可有效解决N型硅片的边缘漏电问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 绝缘 保护层 制备 电池 方法 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的