[发明专利]一种利用绝缘边保护层来制备N型电池的方法有效

专利信息
申请号: 202011123637.1 申请日: 2020-10-20
公开(公告)号: CN112151641B 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 刘阳;吴家宏;张凯胜;孙铁囤;姚伟忠;胡琴;尹伟平 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/068
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 王志慧
地址: 213213 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种利用绝缘边保护层来制备N型电池的方法。具体的步骤包括以下:(1)选择N型的单晶硅片,经过清洗制绒、硼扩散、去BSG;(2)利用滚筒传输装置,将介电层膜均匀的涂抹在硅片的边缘;(3)利用扩散进行磷扩散前或LPCVD沉积多晶硅前,利用高温将介电层与硅片进行微烧结;(4)脱胶,利用HF将绝缘的介电层及沉积在介电层上的磷一起进行剥离;(5)RCA去PSG层或多晶硅层绕镀后、正面进行AlOx、SiNx钝化,背面进行SiNX钝化(6)正面印刷银浆后进行烧结。该方法可有效解决N型硅片的边缘漏电问题。
搜索关键词: 一种 利用 绝缘 保护层 制备 电池 方法
【主权项】:
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