[发明专利]一种异质集成的系统级封装结构及封装方法在审
申请号: | 202011128494.3 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN112259507A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 刘鸿瑾;李亚妮;刘群;张建锋 | 申请(专利权)人: | 北京轩宇空间科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/04 | 分类号: | H01L23/04;H01L23/10;H01L23/12;H01L21/52;H01L25/16 |
代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 曹宇杰 |
地址: | 101399 北京市顺义*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种异质集成的系统级封装结构及封装方法,结构包括:陶瓷基体,其一面挖腔形成有第一腔体;柯伐环,设于陶瓷基体另一面,用于形成第二腔体;第一盖板,设于第一腔体开口处,用于封闭第一腔体;第二盖板,设于第二腔体开口处,用于封闭第二腔体;第一腔体和第二腔体中分别至少设有一个芯片,芯片通过导电胶粘接于陶瓷基体表面;第一腔体或第二腔体中至少设有一个无源分立器件,无源分立器件通过导电胶粘接于陶瓷基体表面。采用单面挖腔的陶瓷基体及柯伐环形成双面腔体结构,并提高了结构稳定性,缩短信号走线,提高互联效率和系统集成度,并实现了有源与无源器件集成,兼顾工艺成熟性与模块可靠性,为高可靠量产SiP提供指导。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 系统 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
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