[发明专利]TiO2

摘要

本发明提供一种TiO2‑Ti3C2Tx复合薄膜气体传感器及其制备方法和用途，包括TiO2‑Ti3C2Tx复合薄膜气体传感元件，所述TiO2‑Ti3C2Tx复合薄膜气体传感元件包括具有氧化铝陶瓷基底层的叉指电极和TiO2‑Ti3C2Tx敏感材料层，TiO2‑Ti3C2Tx敏感材料涂覆在所述叉指电极表面，所述的TiO2‑Ti3C2Tx敏感材料层通过在二维Ti3C2Tx纳米材料上原位生长TiO2纳米颗粒所制得的。本发明以二维Ti3C2本身为钛源，通过一步水热法合成了具有规则形貌的TiO2‑Ti3C2Tx纳米复合材料，制备过程较环保简单，是一种设备投资小，工艺流程简单的二维半导体制备方案。本发明的TiO2‑Ti3C2Tx传感器，由于材料间有效的协同作用，TiO2‑Ti3C2Tx传感器对测试气体的气敏性能均表现出增强的响应。