[发明专利]双酯结构单体及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202011129934.7 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112341337A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 余绍山;顾大公;许东升;方涛;李庆伟;马潇;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C69/675 | 分类号： | C07C69/675;C07C67/31;C08F220/18;C08F220/28;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双酯结构单体及其制备方法和ArF光刻胶配方的应用。所述双酯结构单体的制备方法包括如下步骤有：将乙醇酸酯类溶解于反应溶剂中，配制成乙醇酸酯类溶液；在保护气氛中，将所述乙醇酸酯类溶液与三乙胺混合处理后，进行冷却处理，形成混合溶液；保持保护气氛不变，将所述甲基丙烯酰氯加入至所述混合溶液中进行酯化反应，生成双酯结构单体。所述双酯结构单体制备方法生成双酯结构单体具有双酯长侧链和小体积、高酸敏度的基团；赋予所述双酯结构单体合成的树脂具有较好的附着力和成膜性能、去保护反应效率和可塑性，其硬度和脆性得到了改善。而且制得的双酯酸保护结构单体具有较高的产率，副产物低，易分离纯化。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 单体 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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