[发明专利]一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器有效
| 申请号： | 202011129953.X | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112082490B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 辛晨光;李孟委;亓杰;张瑞;金丽 | 申请（专利权）人： | 中北大学南通智能光机电研究院;中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器，包括光源、凸透镜、光栅、COMS相机，所述光源设置在凸透镜的焦点处，所述光源发出的散射光通过凸透镜后成为平行光束，所述平行光束的光路方向上设置有光栅，所述平行光束经光栅发生衍射干涉，所述平行光束在光栅后形成Talbot像，所述COMS相机设置在任一级的Talbot像上；本发明通过光学设计使光源位移与Talbot像周期相结合，通过COMS相机对Talbot像周期进行测量进而实现对光源位移的测量，实现位移信号输出，仅使用光源、凸透镜、光栅、COMS相机器件，结构较为简单；同时，通过对Talbot像周期的测量也可实现对光源的准直，进而提高定位精度。本发明用于光微位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 talbot coms 相机 结构 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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