[发明专利]适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用在审
申请号: | 202011131120.7 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN112144122A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 周树伟;张丽娟;陈培良 | 申请(专利权)人: | 常州时创能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C23F1/32 |
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地址: | 213300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种适用于大尺寸单晶硅片的制绒添加剂、制绒液及应用,所述制绒添加剂由如下质量百分比含量的组分组成:主成核剂0.5~10%,补充成核剂0.2~5%,支化分散剂0.01~0.1%,脱泡剂0.05~0.5%,余量为水。所述制绒液包括上述制绒添加剂和碱溶液。所述制绒添加剂应用于大尺寸单晶硅片的制绒。本发明彻底解决了大尺寸硅片制绒后的片内不均匀问题;制绒反射率低、制绒时间短;制绒后硅片的片内反射率差异缩小至0.10~0.15%,优于商用制绒添加剂。 | ||
搜索关键词: | 适用于 尺寸 单晶硅 添加剂 制绒液 应用 | ||
【主权项】:
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