[发明专利]光罩防护薄膜表面上的污染颗粒去除方法

摘要

本发明公开了一种光罩防护薄膜表面上的污染颗粒去除方法，包括步骤：步骤一、采用显微镜在光罩的防护薄膜表面上找到污染颗粒。步骤二、将真空吸管和污染颗粒接触。步骤三、开启真空将所接触的污染颗粒去除，防止在去除过程中污染颗粒在防护薄膜表面产生移动并实现对污染颗粒的有效去除。本发明能提高光罩防护薄膜表面上的污染颗粒去除效果，且能防止产生污染颗粒物的印记残留和防止光罩二次污染。