[发明专利]一种基于热阻标准件的热阻测量仪器校准方法及装置有效
| 申请号： | 202011133324.4 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112526425B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 郑世棋;李灏;翟玉卫;丁晨;刘霞美;程晓辉;范雅洁 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 付晓娣 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种基于热阻标准件的热阻测量仪器校准方法及装置，该方法包括：控制热阻标准件处于预设温度下，向热阻标准件输入预设测试电流，并测量热阻标准件的第一结电压，根据预设温度和第一结电压确定热阻标准件的校温曲线；向热阻标准件输入预设工作电流，待热阻标准件的结温稳定后，测量热阻标准件的第二结电压；基于校温曲线以及第二结电压，确定热阻标准件在预设工作电流下的结温，并根据结温确定热阻标准件的标准热阻值；根据标准热阻值对热阻测量仪器进行校准。本发明利用已标定准确热阻值的热阻标准件对热阻测量仪器进行校准，能够解决现有技术中的热阻测量仪器测量结果准确度低、一致性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 标准件 测量 仪器 校准 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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