[发明专利]一种目标单晶生长装置及方法在审
| 申请号： | 202011133476.4 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112226813A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王智勇;黄瑞;兰天;李颖 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 杨明月 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种目标单晶生长装置及方法，该装置包括：反应室、坩埚、加热器和单晶生长模块；单晶生长模块包括籽晶夹持器、籽晶杆、目标籽晶和导模板，其中，导模板的一端位于坩埚内的目标液体中，导模板的另一端位于坩埚的目标液体外，籽晶夹持器的一端与籽晶杆的一端连接，籽晶杆的另一端与目标籽晶的一端连接，目标籽晶的另一端位于导模板的预设范围内，导模板的另一端上部平台的两侧涂覆一层不浸润材料。本发明可以在目标籽晶上生长大尺寸片状目标单晶片，制备出大尺寸的目标晶圆。此外可以通过改变导模板狭缝的间距来控制晶体生长的速度，不需要高昂的设备和严苛的生长条件，可以满足大批量工业化生产的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 目标 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学，未经北京工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011133476.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
