[发明专利]一种靶材组件及其加工方法在审
| 申请号： | 202011133498.0 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112359334A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;徐蔓 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)结合靶材与背板，得到第一靶材组件；(2)机加工步骤(1)所得第一靶材组件，得到第二靶材组件；(3)对步骤(2)所得第二靶材组件的靶材与背板连接处进行防脱落处理，得到靶材组件；步骤(3)所述防脱落处理包括滚花、喷砂与熔射。本发明在传统靶材组件只有喷砂的基础上增加了滚花与熔射，进一步增大了靶材组件边缘的粗糙度，使反溅射的金属原子吸附在靶材边缘表面，长期且有效地解决了溅射过程中发生反溅射物脱落的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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