[发明专利]掩膜板的制备方法及掩膜板有效
| 申请号： | 202011135282.8 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112251716B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘景涛 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种掩膜板的制备方法及掩膜板。掩膜板的制备方法包括：固定支撑条，具有开口的框式框架上固定多个支撑条；设置第一掩膜条，提供第一组遮挡条和多条第一掩膜条连接于上边框和下边框设置，并通过第一组遮挡条保持第一掩膜条不产生变形；设置第二掩膜条，提供第二组遮挡条及多条第二掩膜条进行张网对位连接于上边框和下边框，通过第二组遮挡条向上边框和下边框提供相互靠拢的拉力，至少使部分第一掩膜条沿远离框式框架在第一方向X上的中心线的方向变形。旨在改善掩膜板在蒸镀过程中因发生形变而导致蒸镀材料镀偏的问题，提高蒸镀精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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