[发明专利]一种MOCVD装置及其托盘

摘要

本发明公开了一种MOCVD装置及其托盘，用于放置衬底，其特征在于，包括：托盘主体，所述托盘主体具有锥形安装孔；托盘组件，所述托盘组件用于与所述衬底的底面贴合，所述托盘组件能够与所述托盘主体的锥形安装孔配合且能够沿所述锥形安装孔的轴向移动，在所述托盘组件相对于所述托盘主体移动过程中能够使所述衬底的底面外露。在取放衬底过程中，可保证衬底的底面外露，通过接触衬底的底面实现取放，不需要接触衬底的正面，保证了衬底的正面的质量；此外，通过移动托盘组件则不需要在托盘上开设孔位，保证了托盘内温度的均匀性。