[发明专利]一种用于芯片晶圆的智能储存装置在审

专利信息
申请号: 202011140581.0 申请日: 2020-10-22
公开(公告)号: CN112216635A 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 常永青 申请(专利权)人: 常永青;东莞市和大研磨科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 代理人: 寇闯
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种用于芯片晶圆的智能储存装置,该储存装置包括本体,在所述本体的前端固定安装有显示面板,在所述显示面板的一侧以能活动的方式安装有手动控制旋钮,所述手动控制旋钮的后端延伸至显示面板的内部,在所述本体的上端以能活动的方式安装有盖,所述盖与本体活动连接,所述盖上侧的固定安装有两个提手,这两个提手对称地布置在盖的上侧,在所述本体的左端固定安装有净化箱,右侧设有隔离箱,所述净化箱一侧设有传感器箱,另一侧设有转动马达。在将芯片晶圆件存放在存储装置中时,传感器箱内的传感器实时监控外部环境,并通过控制面板控制相应的部件启动,使得内部的洁净度可持续的保持,有效的改善了储存环境,增加了对晶圆的保护。
搜索关键词: 一种 用于 芯片 智能 储存 装置
【主权项】:
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