[发明专利]一种大尺寸金刚石散热片及其制备方法在审
申请号: | 202011150253.9 | 申请日: | 2020-10-23 |
公开(公告)号: | CN112469239A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 王成勇;胡小月;郑李娟;吴丹丹 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20;B24B1/00;B23K26/38;C23C16/56;C23C16/27 |
代理公司: | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人: | 卢浩 |
地址: | 510000 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种大尺寸金刚石散热片的制备方法,其包括以下步骤:取CVD金刚石片进行磨削抛光;采用飞秒激光对磨削抛光后的CVD金刚石片进行切割,切割后的CVD金刚石片的边缘直线度为0.1um、精度为0.5um以下,切割后的CVD金刚石片形状能够彼此配合连接成片;将切割后的CVD金刚石片拼接成片。本发明为了克服现有技术中缺乏低成本的大型金刚石散热片的缺陷,提供了一种大尺寸金刚石散热片的制备方法,本发明的制备方法成本低但能够获得大型的金刚石散热片,满足性能日益提升的电子元件的热管理需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 金刚石 散热片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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