[发明专利]一种适用于碲镉汞外延薄膜表面的抛光夹具有效
| 申请号： | 202011156057.2 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN114473862B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 宋林伟;孔金丞;王静宇;洪雁;赵增林;马震宇;雷晓红;木迎春;杨洪文;姬荣斌 | 申请（专利权）人： | 昆明物理研究所 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B37/30;B24B57/02 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650221 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于碲镉汞外延薄膜表面的抛光夹具。该抛光夹具为圆柱形，包括置片块和配重块；置片块和配重块用螺纹连接，置片块上表面中心位置设置有作为片槽的凹陷区域，该区域的四周设置有弧形槽；凹陷区域为正四边形，其四条边中心位置和四个角设置弧形槽并开槽至置片块圆形边缘，抛光时，弧形槽方向与抛光磨料运动方向一致。弧形槽的槽深与凹陷区域高度相同；弧形槽的宽度与取片槽的宽度相同，取片槽槽深大于凹陷区域高度；取片槽的长度延伸至凹陷区域。本发明通过确定抛光夹具径高比、弧形槽曲率半径、槽宽、槽深、弧形槽位置、数目等参数，可在碲镉汞表面平坦化过程中最大程度地均匀材料表面抛光液，使碲镉汞表面抛光均匀性得到有效控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 碲镉汞 外延 薄膜 表面 抛光 夹具 | ||
【主权项】：
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