[发明专利]多重电压控制方法及多重电压控制方式的高频电源装置在审
| 申请号： | 202011156931.2 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112735935A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 韩基训;郑珉珠 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 郭放;崔春植 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的多重电压控制方法包括如下步骤：(a)开始对等离子负载供应高频电源；(b)执行持续高频电源的输出而提高该输出的电源冲击动作；(c)检测从所述等离子负载向高频电源侧反射的反射波，判断与所述反射波的量相对应的对应反射波损失量是否大于第一设定值；(d)在满足所述步骤(c)的情况下，将供应于所述高频电源的RF功率放大器的直流电压的VDD大小限制在第一极限；(e)在所述步骤(d)之后，判断所述对应反射波损失量是否小于第二设定值，所述第二设定值小于所述第一设定值；及(f)若满足所述步骤(e)，则再次执行所述步骤(b)的电源冲击动作。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 电压 控制 方法 方式 高频 电源 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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