[发明专利]在线品检装置及其调整方法在审
| 申请号： | 202011158474.0 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112326676A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陶利权;于高洋;王洪建;刘盈楹;王丽江;张玮琪;王刚 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01N21/892;G01V8/10 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张延薇 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在线品检装置及其调整方法，涉及品检在线检测技术领域；该在线品检装置包括侧架组件、光源组件、支撑组件和用于与光学检测组件可拆装连接的上框架组件；侧架组件的数量为两个，两个侧架组件的中部通过中支梁可拆装连接；两个侧架组件的上部通过支撑组件可拆装连接上框架组件；光源组件的两端分别与两个侧架组件可拆装连接。该在线品检调整方法，适用于在线品检装置。本发明的目的在于提供一种在线品检装置及其调整方法，以在一定程度上解决现有技术中存在的加工、运输和安装难度较大，以及易产生形变而影响检测效果的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 装置 及其 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所），未经北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011158474.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
