[发明专利]具串联式冷却室的多流道气体喷射器

摘要

本发明为一种具串联式冷却室的多流道气体喷射器，包括喷射壳体内部环设有多层冷却室，每一层冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室，每一层冷却室内还分别设有多条排气管，且排气管的开口外露于喷射壳体外。本发明可令每一排气管浸泡于冷却液中，达到整体排气管控温的效果，且排气管突出于串联式冷却室的多流道气体喷射器底部，搭配晶座(susceptor)的内凹结构，能有效扫除晶圆边缘的粉尘及沉积物，提升产品制造良率。