[发明专利]一种基于石墨烯的标准漏孔及制备方法

摘要

本发明提供了一种基于石墨烯的标准漏孔及制备方法，用以解决现有技术中检漏系统校准时漏率不稳定、存在泄漏的问题。所述基于石墨烯的标准漏孔包括气源室、渗氦组件和金属刀口法兰，渗氦组件包括渗透部和固定部，气源室与渗透部一侧连通，渗透部另一侧与待校准检漏系统的真空室连通，且两侧连通处均通过金属刀口法兰密封；渗透部依次由垂直于固定部的压力侧石英玻璃、铜箔、石墨烯薄膜和真空侧石英玻璃贴合组成；石墨烯薄膜为多孔或有缺陷的石墨烯；铜箔的压力侧贴合有石墨烯薄膜，真空侧具有化学腐蚀形成的通孔。本发明消除了漏孔的气体泄漏，提高了漏率的稳定性；且漏率达10‑14Pa·m3/s，提高了质谱检漏的校准准确度和精度。