[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 202011161207.9 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113107875B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 二木敬一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/32 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种涡轮分子泵，其可抑制成本增加，并实现大流量、高背压条件下的排气性能的提升。涡轮分子泵(1)包括：多段的转子翼(40)，呈放射状地形成有多个叶片，设置在转子轴方向上；以及多段的定子翼(30)，在转子轴方向上相对于多段的转子翼(40)交替地配置，呈放射状地设置有多个叶片，其中，多段的转子翼(40)及多段的定子翼(30)的至少一段的叶片片数被设定成“质数×2”或“质数×2 |
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| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
暂无信息
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