[发明专利]半导体工艺设备及其电能回收装置

摘要

本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其电能回收装置。该电能回收装置与半导体工艺设备中电机的供电电路连接，用于在电机减速时回收供电电路的电能，电能回收装置包括：检测单元、控制单元及储能单元；检测单元与供电电路连接，用于检测供电电路的电压并且输出至控制单元；控制单元用于在供电电路的电压大于预设阈值时，控制供电电路为储能单元充电。本申请实施例实现了当供电电路的电压过高时将电能存储至储能电路，不仅有效节省了半导体工艺设备的电能，从而大幅降低了经济成本，并且还提高了半导体工艺设备的环保性。由于无需采用现有技术中的发热电阻，因此降低了供电电路的发热量，从而大幅提高安全性能。