[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明实施例提供了一种太阳能电池及其制备方法，该太阳能电池包括晶硅衬底，在其一个表面制备有第一隧穿薄膜层、掺杂多晶硅层、第一钝化层、抗反射层和掩膜层；另一个表面上制备有第二隧穿薄膜层、重掺杂多晶硅层、第二钝化层、超重掺杂多晶硅层和透明导电层。本申请通过引入钝化层实现对掺杂多晶硅层表面良好的化学钝化及场效应钝化，降低载流子在多晶硅层因复合造成的损失，提升光生载流子的有效输出；再通过超重掺杂多晶硅层的引入，实现对其中一个表面场效应钝化的进一步加强，通过不同掺杂浓度产生的电势差值，为光生载流子向外电路输出提供一定的动力，进而再次增大载流子的有效输出，从而有效提高了太阳能电池的转换效率。