[发明专利]太阳能单晶高效PERC+SE电池片的低压扩散工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池生产扩散领域。一种太阳能单晶高效PERC+SE电池片的低压扩散工艺，包括如下步骤，扩散前高温氧化，分步扩散法制备PN结，后氧化，其中分步扩散法制备PN结包括第一步低压扩散，保温缓冲，第二步低压扩散，第一步升温推进，第二步升温推进；本发明能制得高表面浓度和低的结深，电性能参数表现为较低开路电压和填充，短路电流较高，使得组件封装之后短波效应较差，从而表现出低的CTM（组件输出功率与电池片功率总和的百分比），本发明的电池效率得到较大的提高。