[发明专利]用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室有效
| 申请号： | 202011167179.1 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112342615B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 商家强 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室，所公开的散热装置(100)中，散热本体(110)用于与加热管(200)的基座(210)可拆卸连接，且导热相连，散热本体(110)内设有流体通道，流体流入部(120)和流体流出部(130)均与流体通道连通，调节阀(140)设置于流体流入部(120)上，温度测量器(160)设置于散热本体(110)与基座(210)的固定连接处，用于测量基座(210)的温度，且温度测量器(160)与温控器(150)的输入端电连接，调节阀(140)与温控器(150)的输出端电连接。上述方案能够解决因灯座温度过高而导致石英管与灯座之间的石膏密封较容易失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 反应 腔中加 热管 散热 装置 | ||
【主权项】：
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